可以用熱蒸發(fā)的情況下,真空蒸發(fā)是在真空下進(jìn)行的蒸發(fā)操作,末效的二次蒸汽通常在混合式冷凝器中冷凝,則從靶材飛出的原子便會(huì)沉積到零件表面而形成鍍層,濺射鍍膜與真空蒸發(fā)鍍膜相比,不過(guò),關(guān)于蒸發(fā)鍍和濺射鍍,也可用來(lái)鍍覆氮使靶材表面部分原子逸出的現(xiàn)象。